随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件，要去测试它的基本电性能或磁性能，就需要有一种高精度探针座，通过显微镜将被测元件放大，用高精度微探针进行扎针，外部连接测试主机进行测试和分析。

      Adgarde 室温磁场探针台（PSM-PM-4）为样品材料在磁场下提供一个测试环境，外部连接测试主机可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数。还可以在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。（我们可定制PSM-PM-2、4、6、8寸探针台）

稳定的双位移调节系统

      1.样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下面的滑台，可以实现X-Y轴±50的移动行程，并且样品座本身可以进行三维上的精细调节，使得样品测试和换样更加便捷。

      2.探针臂底座采用螺钉固定，可使探针在X-Y-Z三个维度上进行调节，并且可以360°旋转，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到样品的任意位置。

      极小的漏电性

      1.探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性 小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆， 避免杂乱的走线

      2.探针采用针套固定，只有针尖裸露在外，减小漏电

      霍尔测量便捷易操作

      1.无需将线连接到样品上（在传统霍尔测量系统 需连接），就可以探测直径高达51mm的完整或者部分晶片，无需再将晶片切成块状结构。

      独特的配置

      样品台

      光学系统样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品，通过移动样品座下 CCD最大放大倍数可达180倍，并附有环形光源，屏幕分辨率高， 面的滑台，可以实现X-Y轴±50mm的超大移动行程，使得样 使得图像清晰可见，可实现100nm的扎针。并且CCD支架有工作和 品测试和换样更加便捷；样品座本身可以进行三个轴上 非工作两种摆放位置。 （X-Y-Z）的精细调节，配合探针臂的移动，可以使得四个 探针扎到样品的任意位置；样品座外层镀金，电导率性能  光学系统 好；多孔吸附，对各种形状的样品固定都非常稳定，同时  显微镜放大倍数 10-180倍 又不会造成对测量的干扰。

光学系统

      CCD最大放大倍数可达180倍，并附有环形光源，屏幕分辨率高，使得图像清晰可见，可实现100nm的扎针。并且CCD支架有工作和非工作两种摆放位置。

探针臂

      探针臂底座采用螺钉固定，避免了真空吸附在不开启真空泵既无法固定的问题，同时探针臂可以在X-Y-Z三个轴上进行调节，并且可以360°旋转，配合样品座位移调节，可满足探针快速扎到样品的任意位置，探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电性小，漏电流在100fA以内，探针臂内置线缆，避免杂乱的走线。