产品描述
*本技术参数是可定制的。 请咨询Park原子力显微镜，以获取更多信息。
520 mm x 520 mm x 12 mm, 10 kg
travels up to 625 mm, ± 3 µm分辨率
行程达525 mm, ± 3 µm分辨率
Z轴移动距离为25 mm, 0.08 µm分辨率, < 1 µm重复性
Z轴行进光学距离为9 mm
图案校对分辨率为1/4像素
100 μm × 100 μm
0.15 nm
15 μm
0.016 nm
18个频道
4个高速通道 ADC channels
X、Y和Z位置传感器(24位ADC)
17 channels
2个高速DAC通道
X、Y和Z的定位(20位DAC)
SEMI S2/S8标准
< 0.5 µm/s (10 Hz to 200 Hz w/ Active Vibration Isolation System)
>20 dB attenuation w/ Acoustic Enclosure
10 °C ~ 40 °C
18 °C ~ 24 °C
30%至60% (不凝结)
VC-D (6 µm/sec)
低于65 dB
真空度 : -80 kPa
CDA (or N2): 0.7 MPa
208V - 240 V,单相, 15 A (max)
Consult Park Systems
低于100欧姆
ATX通过模式识别自动定位针尖，并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。
电离系统可快速有效地去除静电荷。由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡，因此可以创建一个比较稳定的电荷环境，几乎不污染周围区域，并且大大降低在样品处理过程中产生意外静电的风险。
2334 mm(w) × 1450 mm(d) x 2450 mm(h), 2720 kg approx. (包括控制箱)
升限高度: 2500 mm以上
操作员工作空间: 3700 mm (w) x 3000 mm, minimum (d)
Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸，Park NX-TSH（龙门架设计平板式探针扫描器）可针对第八代及大于第八代的所有大型平板显示器进行测量。专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200 mm。
使用导电原子力显微镜，Park NX-TSH 使用可选探针站测量样品表面，该探针站接触样品表面并向小设备或晶圆片上的设备提供电流。Park NX-TSH用于带有导电原子力显微镜的2D编码器样品，通过集成微探针站进行电气缺陷分析。
Park原子力显微镜公司新开发的探针扫描器结合了X、Y和Z扫描器，可以直接移动到所需测量的点。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向扫描探针头，X- Y方向可达到100µm X 100 μm和Z方向可达到15 μm ，并有灵活的卡盘，以适应超过300毫米的超大超重样品，用于OLED和LCD大样品分析。 样品固定在样品卡盘上，连接在机架上的探针扫描头移动到样品表面的测量位置。 Park NX-TSH的探针扫描头系统因此克服了样品固定在样品卡盘上时候样品大小和重量的限制。
XY扫描器由对称的二维挠曲和高强度压电叠层组成，它微小化的面外运动能提供高度的正交扫描，用超快的响应来完成纳米尺度上精准的样品扫描。
NX-TSH利用其超低噪声Z检测器代替了通常使用的非线性Z电压信号，可为用户提供高精度测量。业界引领的低噪声Z检测器取代了所施加的Z电压作为形貌信号。
Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战，可扫描出高分辨率图像。
NX-TSH配备自动化软件，使用测量程序便可获得精准的多点分析，并对悬臂梁调谐、扫描速率、增益和设定点参数进行优化设置。
Park人性化设计的软件可使用户自由访问NX-TSH的全部功能并获得所需的测量值。
创建新的测量程序其实很简单，从开始创建到能够自动化运行只需大约10分钟的时间，而对创建过的程序进行修改的话也只需不到5分钟。
• 自动，半自动，手动模式三种模式随时切换控制
• 提供自动化程序的编辑方法
• 实时监控测量过程
• 自动分析所获得的测量数据
ATX通过模式识别自动定位针尖，并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。激光光斑通过电动定位技术自动对准。
我们创新的电离系统可快速有效地去除样品环境中的静电荷。 由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡，因此可以创建一个特别稳定的电荷环境，几乎不会污染周围区域，且样品处理过程中产生意外静电的风险低微。
