技术参数: 技术规格 仪器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H 重量:18公斤 工作腔室:硼硅酸盐玻璃 165mm Dia x 125mm H 安全钟罩:聚碳酸酯 靶:60mm 直径 x 0.1mm 厚(金作为标准靶面) 样品台直径为50mm,靶面距离40mm,具有倾斜装置的旋转台 真空范围:ATM-1x10-2 mbar 溅射电流:0-50mA 沉积速率:0-25nm/分 溅射定时: 0-4 分钟 预设置针阀:控制氩 电源:230 伏 50Hz (10 amp max. including Pump)