X射线光谱仪除光电吸收外，入射光子还可与原子碰撞，在各个方向上发生散射。x射线与物质的散射是由于x射线光谱仪与电子的相互作用而产生。散射作用分为两种，即相干散射和非相干散射。如果被散射光子能量与入射光子能量相同，则称为相干散射或弹性散射，相干散射又称为瑞利散射，没有能量损失。如果出现能量变化或损失，则为非相千散射，也称为康普顿散射。

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