线性压电纳米位移台MF30-40A，大行程直线位移台，不仅拥有紧凑的安装尺寸，同时还兼具低温真空等应用环境，支持定制纳米位移台。

线性压电纳米位移台MF30-40A，大行程直线位移台，不仅拥有紧凑的安装尺寸，同时还兼具低温真空等应用环境，支持定制纳米位移台。

产品优势

• 结构紧凑，高刚性

• 零间隙，高精度柔性铰链导向系统

• 室温到液氦工作温度，超高真空兼容

• 压电陶瓷促进器具有超长使用寿命

• 带位移传感器，提供位置和速度闭环控制

产品应用

电子显微镜原位纳米探针台，半导体芯片检测，光刻机工件台，微生物操纵手，光纤焊接，超精密组装，精密检测与测量