UGA （ULT）系列大气分析设备
新技术的质谱分析仪，压强测试范围从大气到超高真空压强，是在线监测和混合气体分析的理想设备。无论检测受限制的污染物，溶剂，氢化物， 制冷剂或者是腐蚀性气体，UGA 都能胜任。UGA 的应用包括半导体尾气检测，杂物箱分析，燃料电池的研究，氟利昂检测，污染检测，发酵研究和简单真空分析。
UGA系统自带windows 软件，实时采集数据和图形化显示，操作方便快捷。软件功能中包含模拟的柱状扫描模式、压力和时间关系图、检漏测试、气体分析和在线分析。标准的GPIB 和RS232 接口方便与计算机连接控制。

图1 UGA P vs. T mode

图2 UGA Analog mode

UGA系列大气分析设备包含三种质谱范围：分辨是100amu、200amu、300amu。详细参数如下：

♦ 入口类型

1 to 760Torr 不锈钢和毛细管

10−1 to 10−4 Torr 1/8” to 1/4” 管型通道

<10−4 Torr 2.75”CF 法兰

流量 1 to 10 ml/min （标准大气压下）

♦ 质谱仪器

类型 四极（RGA）

探测器 法拉第杯和电子倍增管

质谱范围 100, 200 or 300 amu

分辨率 Better than 0.5 amu(at 10 % of peak height)

探测极限 Less than 1 ppm

工作压力 5 × 10−6 Torr

♦ 系统

高真空泵 涡轮分子泵

隔膜泵 最先进的超低压隔膜泵