产品简介

通过光纤引入的光源和MEMS芯片在原位样品台内构建光、电复合多场自动控制及反馈测量系统，结合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在真空环境下随光场、电场变化产生的微观结构演化、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。

我们的优势

业界领先的光学解决方案

1.一体式激光光源，集成紫外-可见-红外不同波段并输出特定波长激光，光信号强（最大强度不低于150 mW/cm2），可快速连续调节光源强度，响应时间短（毫秒级）。

2.特殊结构设计，超低光损耗，能量稳定均匀。

优异的电学性能

1.采用模拟校验独特设计的芯片电极，电场分布均匀、电位稳定，芯片表面的保护性涂层保证电学测量的低噪音和精确性，电流测量精度可达pA级。

2.MEMS微加工特殊设计，在加光过程中可同时进行电学试验和表征，不影响光信号稳定性。

智能化软件和自动化设备

1.人机分离，软件远程调节激光波段和强度，程序自动化控制倾转角度。

2.全流程配备精密自动化设备，协助人工操作，提高实验效率。

技术参数