SIT-200 硅晶圆检测仪是Alnair Labs 公司采用高速扫频激光器，利用干涉计量的方法设计制造的用于硅晶圆厚度检测的干涉仪。与常规测厚采用宽带光源不同，可调谐激光器具备很高的功率谱密度，从而提高了测量的动态范围，因此，SIT-200 支持非抛光的晶圆测量，例如在湿刻过程中以及湿刻之后的晶圆。

• 全光学，非接触式晶圆厚度传感

• 高动态范围，可测量不规则表面

• 支持湿刻制程中实时测量

• 高灵敏度、高准确度、高速度

• 远程控制

测量原理

技术指标

精密扫频激光光源以高速度调谐激光波长。样品前、后表面反射的激光的干涉信号经过PD 探测后，根据波长- 干涉信号强度的关系即可得到晶圆厚度。