一、箱式紫外臭氧清洗机BZS250GF-TS技术参数：

1.整机采用不锈钢304制作，关键元器件采用施耐德，欧姆龙等品牌；

2.电源：220V；

3.灯管：特殊格栅状灯管（进口石英材料），光强26-30mW/cm2,250W，寿命5000小时；

4.主要工作光谱：185nm+254nm；

5.有效清洗面积：8、10英寸（可选择其中一种清洗尺寸）；

6.清洗时间控制器：0~99.99小时或分钟；

7.安全防护功能：当清洗腔门打开时，灯管自动熄灭；

8.寿命计时器：计算灯管使用寿命；

9.照射高度： 配置升降托盘，可调高度0~130mm；

10.UV ON/OFF指示，异常指示/警报；

11.灯管预热：具灯管预热提示功能，使清洗数据更精准；

12.加热（选配）：可选择加配外置加热平台，温度范围：常温~450摄氏度；

13.排风功能：自带臭氧排风系统，可分档调节风速，8cm直径出风口，配置风管及紧固件；

14.净重：22kg

二、箱式紫外臭氧清洗机BZS250GF-TS应用领域

■在进行薄膜沉积之前先进行基片清洗。清除浮渣和稳定化处理光刻胶。超高真空度密封。

■清洗硅芯片，透镜，反光镜，太阳能面板，冷轧钢，惯性引导零件和 GaAs芯片

■清洁焊剂，混合电路以及平板LCD显示器

■蚀刻特氟隆，氟橡胶以及其它有机材料

■增强GaAs 和Si氧化物钝化表面

■增强玻璃的除气作用

■基片蓝膜去除

■增强塑料表面的镀膜的粘附性

■基片终测后墨迹清楚

■去除光刻胶

■平板显示器/液晶显示器

■去除光刻机台上的光刻胶残留物

■在电路板封装和打片之前清洗）

■光纤

■增强表面亲水特性

■为生物科学应用做清洗和消毒

■光学透镜

■其它应用