大型紫外臭氧清洗机是一款采用抽屉式装载基片的UV光清洗机，适用中大型基片等清洗，如液晶面板，ITO导电玻璃，晶圆，OLED，LCD，硅片，陶瓷，金属片，聚合物，硅胶等表面清洗，用于清洗产品的表面有机物，即进行表面改质，从而获得较好的亲水性，可根据客户要求进行客户化设计。

大型紫外臭氧清洗机

产品配置

（1）整机采用不锈钢304制作，关键元器件采用施耐德，欧姆龙等品牌；

（2）电源：220V；

（3）灯管：根据客户需求定制灯管功率及尺寸，寿命5000小时；

（4）主要工作光谱：185nm+254nm；

（5）有效清洗面积：350*350MM，320*380MM或客户需要尺寸；

（6）清洗时间控制器：0-99.99小时或分钟；

（7）安全防护功能：当清洗腔门打开时，灯管自动熄灭；

（8）照射高度：可定制

（9）UV ON/OFF指示，异常指示/警报；

（10）灯管预热：具灯管预热提示功能，使清洗数据更精准；

（11）加热（选配）：可选择加配外置加热平台，温度范围：常温-450摄氏度；

（12）排风功能：自带臭氧排风系统，可分档调节风速，8cm直径出风口，配置风管及紧固件；

应用领域

■在进行薄膜沉积之前先进行基片清洗。清除浮渣和稳定化处理光刻胶。超高真空度密封。

■清洗硅芯片，透镜，反光镜，太阳能面板，冷轧钢，惯性引导零件和 GaAs芯片

■清洁焊剂，混合电路以及平板LCD显示器

■蚀刻特氟隆，氟橡胶以及其它有机材料

■增强GaAs 和Si氧化物钝化表面

■增强玻璃的除气作用

■基片蓝膜去除

■增强塑料表面的镀膜的粘附性

■基片终测后墨迹清楚

■去除光刻胶

■平板显示器/液晶显示器

■去除光刻机台上的光刻胶残留物

■在电路板封装和打片之前清洗）

■光纤

■增强表面亲水特性

■为生物科学应用做清洗和消毒

■光学透镜

■其它应用