Diener等离子表面处理设备                         德国原装进口

德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司, 是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术领先者。Diener采用先进的集成化技术开发生产射频频率为40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等离子应用最先进技术的2.45GHz的等离子清洗机。

目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的最优质产品，以保证性能技术稳定。

德国diener等离子表面处理设备特点：

• 等离子清洗机清洗效果好，效率高，应用范围广。

• 对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求

•  等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

• 射频功率无极连续可调。

•  高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

• 特制电极和托盘结构，可充分利用真空舱体内部空间，使处理效率最大化，同时也可保证样品可得到全面有效的清洗。

•  特有的过载、短路和过热保护电路，可保证射频电源的稳定和安全。

• 设备整体模块化设计，安装与维护极为简单。

德国diener等离子表面处理设备的应用范围：   

•     清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。

•     清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

•         移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。

•         清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。

•         清洗半导体元件、印刷线路板。

•         清洗生物芯片、微流控芯片。

•         清洗沉积凝胶的基片。

•         高分子材料表面修饰。

•         牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。

•         改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

•         煤、石棉灰化。

Diener Tetra50-LF Plasma 

主要技术参数：
Tetra-50-LF 标准配置
*操作界面简单方便

* 反应舱 305mm(宽)×300mm(高)×625 mm(深)
* 不锈钢反应舱体，铝合金舱门
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 数字计时器可自动设定操作程序
* 皮拉尼真空泵可设定重复操作，真空泵排气净化管路
* 双气体配置， 铜气体管、气体流量计、 针阀
* 可调节气体流量计
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 功率：0-1000W连续可调
* 自动阻抗匹配
* 电极4层电极，样品托盘4层放置 （可选装最多至6层）不锈钢托盘
* 安全保护功能：防静电真空开关，安全传感舱门
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱
* 操作：手动或全自动
* 参数控制： 处理时间、功率、气体流量、压力
* 外形 600mm(宽)×1800mm(高)×800mm(深)
* 电压：380-400V/16A
* 真空泵 ：莱宝（Leybold）Type D16B（16m3/h）
选装件：旋转舱体、计算机控制系统