设备规格

1.全自动操作模式；

2.Robot取放片；

3.适应于 6英寸-8英寸 Wafer；

4..冷却方式包括水冷和氮气吹扫；

5.MFC控制，3-5路制程气体;

6.SEMI认证。

工艺应用:

快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；

离子注入/接触退火；

高温退火；

高温扩散。

金属合金；

热氧化处理；

应用领域：

化合物半导体（砷化镓、氮化物、碳化硅等）；

多晶硅；

太阳能电池片；

MEMS；

功率器件；

IC晶圆；

LED晶圆。

量伙半导体设备（上海）有限公司为您提供集成电路全自动8英寸快速退火炉的参数、价格、型号、原理等信息，集成电路全自动8英寸快速退火炉产地为上海、品牌为量伙，型号为LH-RTA-S801，价格为500万-600万RMB，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务