我司具有软件、自动化和机械等整套研发人员,可依据客户需求,完成定制化设备的研发生产。
工艺应用:
快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
离子注入/接触退火;
高温退火;
高温扩散。
金属合金;
热氧化处理;
应用领域:
化合物半导体(砷化镓、氮化物、碳化硅等);
多晶硅;
太阳能电池片;
MEMS;
功率器件;
IC晶圆;
LED晶圆。
量伙半导体设备(上海)有限公司为您提供定制化半自动6英寸快速退火炉RTP的参数、价格、型号、原理等信息,定制化半自动6英寸快速退火炉RTP产地为上海、品牌为量伙,型号为半自动6英寸快速退火炉RTP,价格为80万-100万RMB,更多相关信息可来电咨询,公司客服电话7*24小时为您服务