产地：上海； 品牌：量伙
发布时间：2022年09月
PIPES指数：1.0 用户：0 新闻：0 应用：0
设备规格：
1.手动操作模式；
2. 适应于 2英寸-4英寸 晶圆或者支持 (100mmx100mm)样品；
3.退火温度范围 300℃-1000℃；
4.升温速率 ≦100℃/sec(裸片)；
5.温度均匀性 ≦±1%(>500 ℃)；
6.常压腔体（可选配真空腔体）；
7.冷却方式包括水冷和氮气吹扫；
8.MFC控制，1-4路制程气体。
产品描述
