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善准科技等离子刻蚀机VP-RS15
善准科技等离子刻蚀机VP-RS15频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,腔体不锈钢,功率500W,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS键合、单晶硅片、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。
PIPES指数:7.9
用户:
应用:
型号:VP-RS15
品牌:善准科技
产地:广东省广州市
广州善准科技有限公司
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核心参数
产地:
中国大陆
供应商性质:
生产商
产地类别:
国产
仪器种类:
等离子体清洗器
价格范围:
5万-10万
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产品描述
标准
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GB/T 26111-2010微机电系统(MEMS)技术 术语
DB34/T 3438-2019清洗刻蚀含酸废液的循环再生利用技术要求
GB/T 30014-2013废钯炭催化剂化学分析方法 钯量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
SJ/T 10458-1993俄歇电子能谱术和X射线光电子能谱术的样品处理标准导则
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