我们的 S-2000AC 系列气动隔振器采用 Newport 独有的无尘室预处理程序制造而成,最大限度地提高了将在无尘室应用中使用的产品的清洁度。
用于 USC 系列无尘室光学平台的无尘室
混合室设计最大化了隔离带宽和稳定性
高精度的重新调平功能改善了受干扰后的重新定位
用于无限制活塞运动的具有专利的自定心设计可实现最平滑的隔离
可调节隔离腿高度可以对不平坦的地面进行补偿,以获得更好的隔离效果
人体工程学设计包括集成气泡水平仪、地震保护装置和浮标高度指示
产品规格
类型
Cleanroom Pneumatic Vibration Isolator
单个隔离器负载
2000 lb (900 kg)
是否含连杆法兰
No
是否含浮起高度指示器
Yes
自动定心
Yes
高度调节
+1.09/-0.25 in. (+27.7/-6.4 mm)
水平共振频率
1.5 Hz
共振时的水平放大率
9 dB
水平隔振,5 Hz
85%
水平隔振,10 Hz
95%
垂直共振频率
1 Hz
共振时的垂直放大率
10 dB
垂直隔振,5 Hz
94%
垂直隔振,10 Hz
98%