产品描述
这款PELCO®凹坑仪是南湾科技D500i凹坑仪的改进版，是一种精密的机电金相研磨仪器。它可不断的监视和控制凹陷参数，并且在达到预先设置的样品厚度时准确地终止研磨。这种机电一体化技术的实现了造坑过程的自动化，使得造坑减薄的过程变得可重复而可靠。
PELCO凹坑仪的精确度为±1μm，造坑面积大，机械损伤小。可对多种不同的材料进行造坑减薄，如硅、镓砷化合物、锗、蓝宝石、氧化物、碳化物、硼化物、硅化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半导体、铝合金、陶瓷、碳和碳复合物。
Z偏移量 | 精确度： | 1 micron |
范围： | 2000 microns | |
Z终止精确度 | 工具1i / 3i： | <±1 micron |
工具2i / 4i： | <±2 microns | |
工具压力 | 范围： | 1 - 200 grams |
1 grams 步进 | ||
平衡 | 灵敏度： | 1 grams |
范围： | 50 grams | |
工具速度 | 100 - 600 RPM | |
样品压盘转速 | 10 RPM | |
工具传动轴 | 0.5微米TIR | |
工具1i / 3i： | <±1 micron TIR | |
工具2i / 4i： | <±2 microns TIR | |
压盘表面 | <0.5 micron TIR | |
外形尺寸 | 长度： | 68.6cm |
宽度： | 35.6cm | |
高度： | 33cm | |
重量： | 32kg | |
电源 | 通用交流电：85~264 VAC，47~63 Hz |
产品编号 | 描述 |
84000 | PELCO ® TEM精密凹坑仪 |
83050 | PELCO ®视频对齐工具 |
83031 | 用于TEM的3mm样品的标准工具组 |
83032 | 可调节压板组 |
83001 | 蓝宝石样品座 |
