型号: NIE-3000
品牌:那诺-马斯特
产地: 美国
产地: | 美洲 |
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供应商性质: | 生产商 |
产地类别: | 进口 |
价格范围: |
NIE-3000离子束清洗系统产品概述:该系统为手动放片取片,但通过计算机全自动实现工艺控制的台式离子束刻蚀系统,系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。
NIE-3000离子束清洗系统产品特点:
· 低成本
· 离子束:高达2KV/10mA
· 离子电流密度100-360uA/cm2
· 离子束直径:4",5",6"
· 兼容反应及非反应气体(Ar, O2, CF4,Cl2)
· 极限真空5x10-7Torr
· 260l/s涡轮分子泵,串接500 l/min干泵
· 14"不锈钢或铝质腔体
· 水冷旋转/倾斜样品台(NIE-3500)
· 自动上下载片(NIE-3500)
· 基于LabView软件的PC计算机全自动控制
· 占地面积30"x30"
产品应用:
· 表面处理
· 离子铣
· 表面清洗
· 带活性气体的离子束刻蚀: 光栅刻蚀,以及SiO2,Si和金属的深槽刻蚀