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ibss 在线等离子清洗系统 GV10x
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ibss 在线等离子清洗系统 GV10x
顺流等离子工艺可以快速、方便地消除碳氢化合物的污染并进行样品清洗。彻底地改变了清除真空腔中碳和碳氢化污染的方法。
PIPES指数:7.9用户:应用:

型号型号: GV10x

品牌品牌:ibss

产地产地: 美国

上海微纳国际贸易有限公司

核心参数
产地: 美洲
供应商性质: 区域代理
产地类别: 进口
仪器种类:
价格范围: 10万-20万
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产品描述

技术优势:

1、 清洗功率可调节:0 to 99 watts;

2、 操作压力可调节:from 2 torr to 1 mTorr;

3、 清洗速度快;

4、 无需破真空进行清洗,实现原位清洗;

5、 即插即用设计方案,无需集成;

6、 采用从上到下清洗模式,降低对样品的损伤

7、微量等离子激发,消除清洗和成像交换之间的图像形成的迟滞现象;

8、扩展性好,可配用各类台式电镜、透射电镜原位清洗以及样品清洗使用


可搭配设备:SEM/FIB/NanoProbe/XPS/TEM/同步辐射及其他各类真空体

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