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特点: 位移范围:40um-80um 闭环分辨率:0.4nm-0.8nm 响应时间:0.06ms-0.08ms 驱动电压更低
位移范围:40um-80um 闭环分辨率:0.4nm-0.8nm 响应时间:0.06ms-0.08ms 驱动电压更低
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