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磁控溅射系统:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达到到8“旋转平台,支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
· 不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔
· 70l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
· 1KW DC直流电源
· 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
· 带观察视窗的腔门易于上下载片
· 基于LabView软件的PC计算机控制
· 带密码保护功能的多级访问控制
· 完全的安全联锁功能
选配项:
· Thickness Monitor 膜厚监测
应用:
· SEM应用
· 溅射金属,可达6"的晶圆片
NSC-1000磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达6"旋转平台,支持到2个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-1000带有10”派热克钟罩腔体,2个2”的磁控管,DC直流电源用于溅射金属,并带有膜厚监测仪(选配)。由于NSC-1000的空间有限,我们不能在NSC-1000系统上提供更多的电源和磁控管。我们可以提供我们的NSC-1000系统,用于SEM应用,也可以用于溅射金属到z大6”的晶圆片。
NSC-1000磁控溅射系统产品特点:
NEE-4000 (A) 全自动电子束蒸发系统物理气相沉积(PVD) NEE-4000 (A) 应用于电子/半导体
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